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拋光墊對平面研磨工藝有哪些用途

  • 作者:admin
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  • 時間:2019-05-10
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摘要:平面 研磨機 加工工藝是復(fù)雜而又精確的,需要各種研磨耗材的配合。其中拋光墊對平面 研磨機 的研磨工藝有很大的作用,以下就是拋光墊在研磨機加工工件上的四個作用。 ①把拋光液有效均勻地輸送到拋光墊的不同區(qū)域; ②將拋光后便化學反應(yīng)充分進行的反應(yīng)物、碎
    平面研磨機加工工藝是復(fù)雜而又精確的,需要各種研磨耗材的配合。其中拋光墊對平面研磨機的研磨工藝有很大的作用,以下就是拋光墊在研磨機加工工件上的四個作用。
 
 、侔褣伖庖河行Ь鶆虻剌斔偷綊伖鈮|的不同區(qū)域;
 
  ②將拋光后便化學反應(yīng)充分進行的反應(yīng)物、碎屑等順利排出,達到去除效果;
 
 、劬S持拋光墊表面的拋光液薄膜, 以便化學反應(yīng)充分進行;
 
 、鼙3盅心C拋光過程的平穩(wěn)、表面不變形, 以便獲得較好的晶片表面形貌。